- 0512-88888888 17090133615(王經理)
IBP系列IBP系列高能等離子體拋光機
IBP系列高能等離子體拋光機，采用稀有氣體離子轟擊光學鏡片表面，實現原子級別分辨率的材料去除，是迄今為止最高精度的加工方式之一。
材料適用性：石英,微晶,ULE,BK7,單晶硅,SiC,藍寶石,白寶石等形狀適用性：平面,球面,二次曲面,高次非球面,自由曲面加工精度：優于1/600入（2=632.8nm）RMS表面粗糙度：優于0.5nm RMS
產品優勢
技術特色
非接觸非接觸式加工，不引起疵病，且能有效去除光學表面殘留的金屬離子等污染。
亞納米材料去除分辨率 可實現亞納米量級材料去除分辨率，加工精度極高。
高穩定性材料去除穩定性24小時內優于2%，加工確定性好。
自由曲面加工真6軸5聯動，適用于一般高次非球面和自由曲面加工。
產品優勢
更低濺射污染
最新一代的離子束拋光機采用了自主研發的低污染離子源，進一步抑制離子源自身帶來，的濺射污染，滿足用戶對污染控制的極端要求。
更低使用成本
支持進口和國產耗材替換，大幅節約使用成本。
更高生產效率
軟硬件上支持一盤多片加工，無需反復抽真空，能耗小，生產率高。
更加智能化
可選遠程真空操作控制和一鍵真空抽取功能，更加智能化簡單化。
產品參數
項目 | IBP300 | IBP600 | IBP1000 |
床身材料 | 真空專用腔 | ||
運動軸數 | X/Y/Z/A/B五軸聯動（X/Y/Z三軸聯動可選） | ||
加工空間 | 400×400×150mm | 700×700×200mm | 1100×1100×250mm |
最大可加工工件尺寸(φ×H) | 300×150mm | 600×200mm | 1000×250mm |
驅動形式 | 直線電機 | ||
重復定位精度 | X/Y/Z優于±5μm | X/Y/Z優于±5μm | X/Y/Z優于±10μm |
A/B ±20" | A/B ±20" | A/B ±20" | |
最大運動速度 | X/Y/Z 3000mm/min | ||
A/B 20rpm | |||
極限真空度 | 4*10-4Pa | ||
工作真空度 | 1*10-2Pa | ||
抽真空時間 | 1.5h@ 4*10-4Pa | ||
離子束徑 | 5-40mm（可升級至1mm） | ||
離子能量 | 100-2000eV | ||
最大束電流 | 50mA | ||
最大束電壓 | 2000V | ||
外形尺寸（寬×進深×高） | 5000mm×4000mm×2500mm | 5500mm×6500mm×3000mm | 6500mm×7000mm×3500mm |
產品質量 | 4000kg | 8000kg | 14000kg |
工作氣壓 | 0.7Mpa | 0.7Mpa | 0.7Mpa |
工作功率 | 14KW | 20KW | 23KW |
工作電壓 | 三相交流3×380V±10% | 三相交流3×380V±10% | 三相交流3×380V±10% |
環境溫度 | 20±2℃ | 20±2℃ | 20±2℃ |
濕度范圍 | ≤50% | ≤50% | ≤50% |
加工精度 | 批量生產水平：優于1/100λ (λ=632.8nm) RMS | ||
實驗室水平：優于1/600λ (λ=632.8nm) RMS | |||